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是一種高度自動化的化學品供應系統，主要用于24小時不間斷向生產線提供各種化學液體。該系統廣泛應用于集成電路、半導體材料加工、LED、太陽能光伏、MEMS等行業中濕法設備的化學液自動供給。CDS供液系統能實現化學液的自動加液、補液及配液，確保生產過程中化學液的精確配比和穩定供應，是許多工藝的核心支持系統。

? 配備高精度的計量裝置，有助于提高產品質量的穩定性。

? 先進的控制系統，能保證化學藥液以穩定的流量輸出。

? 具備在線監測和故障診斷功能，幫助維修人員快速定位解決問題。

? 遠程監控操作，提高了操作的便捷性和安全性。

? 自動配液功能，提高了配液的準確性和效率。

? 多種藥液兼容，滿足不同生產工藝對多種化學藥液的需求。